品种名称

英文名

化学式

纯度 (%)

充装容器 (L)

充装量 (Kg)

氨气

Ammonia

NH 3

99.999%

44、16、8

22.7、6.8、4.1

99.9997%

砷烷

Arsine

AsH 3

99.999%

50、25、10、5

22.7、11.3、4.5、2.3

99.9999%

三氯化硼

Boron trichloride

BCl 3

99.99%

44、16

36.3、10

99.999%

********

Boron trifluoride

BF 3

99.99%

44、16、8、7

27.2、9.1、4.5

99.995%

****

Chlorine

Cl 2

99.99%

49、44、16、8

45.4、40.8、18.1、4.5

99.999%

二氯二氢硅

Dichlorosilane

SiH 2 Cl 2

99.0%

44、16

40.9、10

99.9%

三氟甲烷

Halocarbon-23

CHF 3

99.995%

44、16

31.8、5.0

99.999%

氯化氢

Hydrogen chloride

HCl

99．995%

49、44、16

31.7、27.2、9.1

99．9995%

氧化亚氮

Nitrous oxide

N 2 O

99.97%

44、16、8

27．2、9.0、4.5

99.9998%

三氟化氮

Nitrogen trifluoride

NF 3

99.7%

44、17

20、7.7

99.995%

SiCl 4

Silicon tetrachloride

SiCl 4

99.94%

210MC、38L

272、45.4

硅烷

Silane

SiH 4

99.999%

49、44

14、10

99.9995%

磷烷

Phosphine

PH3

99.999%

44、16、8、3

13．6、4.1、2.3、0.7

99.9998%

99.9999