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化学气相淀积（CVD）混合气

　　 化学气相淀积(CVD)用混合气 CVD是利用挥发性化合物，通过气相化学反应沉积某种单质或化合物的一种方法，即应用气相化学反应的一种成膜方法。依据成膜种类，使用的化学气相淀积(CVD)气体也不相同。 表12-化学.jpg 列出几类化学气相淀积混合气的组成。



     
 
 
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